使用工業(yè)氣體時(shí),成品率只有10%;使用含雜質(zhì)小于10ppm的氣體和相應(yīng)的高純化學(xué)試劑時(shí),則成品率可提高到70%~80%。以用水而言,集成度為1Mb的集成電路,允許水中微粒的粒徑不大于0.1μm 。為了制得接近理論的純水,生產(chǎn)方法從蒸餾、離子交換發(fā)展到70年代的膜分離與離子交換相結(jié)合的方法,使純水制備技術(shù)達(dá)到新的水平。微電子器件生產(chǎn)的關(guān)健在于光刻膠。超大規(guī)模集成電路所用的光刻膠是由芳香族疊氮化合物制成的感光樹(shù)脂,其優(yōu)點(diǎn)是分辨率高,去膠容易,圖像清晰。液晶是微電子器件中不可缺少的顯示材料。它是一種有機(jī)化合物,由于要求顯示溫單一液晶都達(dá)不到這種要求,須用多種同類型或不同類型的液晶混配使用。生物技術(shù)微生物是一種活細(xì)胞催化劑,在常壓和不高的溫度下通過(guò)發(fā)酵過(guò)程,將原料轉(zhuǎn)變?yōu)楫a(chǎn)品。多年來(lái),應(yīng)用這種傳統(tǒng)的生物技術(shù)生產(chǎn)了乙醇、丁醇、丙酮、醋酸等產(chǎn)品。
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